真空退火爐的快冷操作方法

　　真空退火爐在使用中升溫結束后，進入冷卻階段，這時可以選擇自然冷卻，或者是采用快冷的方法，具體需要根據工藝而定，當選擇采用快冷時，具體的操作方法如下。
　　1、按工藝要求調整充氣壓力表的上、下限，調整風機控制壓力表的上、下限，在無紙記錄儀上調好風機啟動溫度。
　　2、按步驟關閉各真空泵、閥。擴散泵閥→擴散泵→預抽閥→真空閥→羅茨泵→滑閥泵。
　　3、按“充氣閥”、“確定”，充氣閥打開，向真空退火爐內充入高純的N2或Ar(純度≥99.999%)當爐內壓力接近充氣壓力上限時，關“充氣閥”，打開“微充閥”，直到充氣上限為止。

　　4、當達到設定的風機啟動溫度后，按“風機”、“確定”風機啟動，爐溫快速冷卻。
　　5、若熱交換器及風機出水溫度較高，應適應調大其供水閥，以利縮短冷卻時間。
　　6、當真空退火爐爐溫達到100℃以下，關閉風機，打開擴散泵上部的手動閥，排出爐內氣氛，直至爐壓與大氣壓平衡，方可打開爐門，取出產品。
　　真空退火爐需要采用快冷方式進行操作時，一定要提前對操作程序有所認識和了解，這樣才能更好的達到效果，以免操作失誤對產品以及設備造成傷害。